顯定影機,上膠機

顯定影機Development M/C

自動顯影機Auto Developing M/C

佔面積590DP*1200L*1500H，四軸及六軸3”~4”晶圓使用，白色PP不锈鋼外殼機架，主軸轉速最高8000RPM，主軸馬達120W*2加速度控制及時間顯示，附沈澱箱，上料架，烤盤 hot plate，行程可程式設定噴頭組六軸

上膠機PR Spin coater（PR上膠，塗硼，塗白金水）

佔空間1100*800DP*1380H，三軸手動型附二式吸盤，中央系統抽風及攔膠絲裝置，附加熱器及材料車，三軸獨立三段時間速度控制

配互換式易拆專用吸盤，選用自動灌膠配下拉式抽風系統